Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел
- Год
- 2001
- Библиотечный номер
- 324
- Авторы
- Вяткин А.Ф.
- Предмет
- Технологии материалов
- Специальность/направление
- 5401; 0709; 0710
- Вид методического издания
- Курс лекций для студентов специальностей 5401, 0709, и 0710
- Артикул
- 001250
В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов. Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 5401, 0709, и 0710
| Формат | А5 |
|---|---|
| Переплет | КБС |
| Аудитория | Студенты |
| Институт | Технологический университет |
| Кафедра | Кафедра физического материаловедения |
| Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
| Библиотечн. номер | 324 |
C этим товаром покупают
