Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозоций
- Год
- 1998
- Библиотечный номер
- 866
- Авторы
- Крапухин В.В., Кожитов Л.В.
- Предмет
- Технологии материалов
- Специальность/направление
- Приборы и методы контроля качества и диагностики
- Вид методического издания
- лабораторный практикум
- Артикул
- 001499
Лабораторный практикум содержит 5 работ, выполняемых на лабораторном и фирменном оборудовании с использованием ЭВМ В работах рассмотрены процессы подготовки подложек, измерения остаточных термических напряжений в пластинах, методы жидкофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии
| Формат | А5 |
|---|---|
| Переплет | Мягкий |
| Аудитория | Студенты |
| Институт | Технологический университет |
| Кафедра | Кафедра технологии материалов твердотельной электроники |
| Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
| Библиотечн. номер | 866 |