Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов
- Год
- 2013
- Библиотечный номер
- 2293
- Авторы
- Рабинович О.И., Крутогин Д.Г.
- Предмет
- Технологии материалов
- Специальность/направление
- Электроника и наноэлектроника
- Вид методического издания
- лабораторный практикум
- Артикул
- 000384
В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначен для студентов, обучающихся по направлению 210100 в качестве бакалавров, инженеров и магистров, при выполнении лабораторных работ, подготовке дипломных работ и магистерских диссертаций
| Формат | А5 |
|---|---|
| Переплет | Мягкий |
| Аудитория | Студенты |
| Кафедра | Кафедра технологии материалов электроники |
| Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
| Библиотечн. номер | 2293 |
| ISBN | 978-5-87623-710-1 |