Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Ионная имплантация

В пособии кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассмотренной в качестве основного инструментального метода. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», предназначенному для подготовки магистров и бакалавров по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», а также по направлению подготовки аспирантов 01.04.10 «Физика полупроводников». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 150100 «Материаловедение и технологии материалов», по специальности 150601 «Материаловедение и технология новых материалов»