Методики определения параметров вакуумных систем
- Год
- 2002
- Библиотечный номер
- 1633
- Авторы
- Григорович С.Л., Кузнецов Г.Д., Курочка С.П., Лобачев И.В., Никоненко В.А.
- Предмет
- Электроника
- Специальность/направление
- Приборостроение; электроника и микроэлектроника
- Вид методического издания
- Лабораторный практикум для студентов специальности 200100 и направления 550700
- Артикул
- 001243
Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная техника». В нем рассматриваются методики определения параметров работы форвакуумных насосов, их устройство и режимы их эксплуатации. Описаны устройства для измерения вакуума и определения его параметров. Приводится методика определения параметров вакуумных систем, имеющих различный рабочий объем и межсоединения. Дается методика работы с вакуумметрами различного типа; рассматриваются методики создания высокого вакуума с применением диффузионных насосов и систем безмасляной откачки; анализируются особенности конструкций систем откачки; приводятся методики определения быстроты достижения сверхвысокого вакуума и способы его измерения; дается описание методики определения натекания в вакуумной системе с помощью стандартных систем течеискателей. Предназначен для студентов специальности 200100 и направления 550700
Формат | А5 |
---|---|
Переплет | Мягкий |
Аудитория | Студенты |
Институт | Технологический университет |
Кафедра | Кафедра технологии материалов электроники |
Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
Библиотечн. номер | 1633 |