Математическое моделирование технологических процессов. Моделирование в среде MathCAD
- Год
- 2001
- Библиотечный номер
- 1631
- Авторы
- Никоненко В.А.
- Предмет
- Электроника
- Специальность/направление
- Приборостроение; электроника и микроэлектроника
- Вид методического издания
- Практикум для студентов специальностей 550700 и 200100
- Артикул
- 001244
В практических работах рассматриваются процессы формирования функциональных слоев полупроводниковых приборов. Приводятся необходимые сведения по физическим основам процессов и методам математического моделирования этих процессов. Целью практикума является освоение студентами методов математического моделирования технологических процессов с использованием современных персональных компьютеров и математической системы MathCAD. Предназначено для студентов специальности 550700 и 200100
Формат | А5 |
---|---|
Переплет | Мягкий |
Аудитория | Студенты |
Институт | Технологический университет |
Кафедра | Кафедра технологии материалов электроники |
Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
Библиотечн. номер | 1631 |