Физика твердого тела

Настоящее пособие является первой частью лабораторного практикума по курсу «Физика твердого тела», в котором представлены основные электрофизические методы измерения важнейших параметров материалов электронной техники, таких как удельное сопротивление, концентрация и подвижность носителей заряда, ширина запрещенной зоны, энергия активации примеси. Практикум предназначен для углубленного изучения и практического освоения этих методов на примере различных полупроводниковых материалов, используемых для изготовления различных приборов и микросхем, а также для обучения практическим навыкам работы с измерительной аппаратурой и методике обработки экспериментальных результатов. Основное внимание обращено на теорию метода измерения и ограничения применимости его к различным материалам и образцам различной геометрии. Рассмотрены основные сопутствующие измерениям паразитные явления и указаны способы устранения их влияния на измеряемую величину. Работы предназначены для студентов специальностей 2001, 2002, 0710 и направлений 5507, 5516 и 5531. Лабораторные работы составлены Маняхиным Ф.И. (4, 6), Мартыновым В.Н. (5), Паничкиным А.В. (1, 3), Кобелевой С.П. (2)