Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Есть в наличии
440
В корзину
Год
2015
Библиотечный номер
2592
Авторы
Рабинович О.И., Круторгин Д.Г., Подгорная С.В., Маренкин С.Ф.
Предмет
Нанотехнологии
Специальность/направление
Нанотехнологии и микросистемная техника
Вид методического издания
учебно-методическое пособие
Артикул
000143
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ
Формат А5
Переплет Мягкий
Аудитория Студенты
Кафедра Кафедра технологии материалов электроники
Издательство Издательский Дом НИТУ "МИСиС"
Библиотечн. номер 2592