Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления
- Год
- 2017
- Библиотечный номер
- 2936
- Авторы
- Пархоменко Ю.Н., Антипов В.В., Жуков Р.А., Кугаенко О.М., Петраков В.С.
- Предмет
- Технологии материалов
- Специальность/направление
- Материаловедение и технология материалов
- Вид методического издания
- лабораторный практикум
- Артикул
- 001571
Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума – приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники»
Формат | А5 |
---|---|
Переплет | Мягкий |
Аудитория | Студенты |
Институт | Институт новых материалов и нанотехнологий |
Кафедра | Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков |
Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
Библиотечн. номер | 2936 |