Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур
- Год
- 2001
- Библиотечный номер
- 1637
- Авторы
- Бублик В.Т., Щербачев К.Д.
- Предмет
- Технологии материалов
- Специальность/направление
- Материаловедение и новые технологии; материаловедение; технология материалов и покрытий
- Вид методического издания
- Учебное пособие для студентов специальности 071000 направления 651700
- Артикул
- 001274
Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной. Пособие по этой тематике издается впервые. Необходимость издания определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует
Формат | А5 |
---|---|
Переплет | КБС |
Аудитория | Студенты |
Институт | Технологический университет |
Кафедра | Кафедра материаловедения полупроводников |
Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
Библиотечн. номер | 1637 |