Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия
- Год
- 2016
- Библиотечный номер
- 2880
- Авторы
- Бублик В.Т., Щербачев К.Д., Воронова М.И.
- Предмет
- Технологии материалов
- Специальность/направление
- Материаловедение и технологии материалов
- Вид методического издания
- Учебное пособие
- Артикул
- 000009
Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники». Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» по программе «Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники»
Формат | А5 |
---|---|
Переплет | Мягкий |
Аудитория | Студенты |
Кафедра | Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков |
Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
Библиотечн. номер | 2880 |
ISBN | 978-5-87623-982-2 |