Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
- Год
- 2015
- Библиотечный номер
- 2592
- Авторы
- Рабинович О.И., Круторгин Д.Г., Подгорная С.В., Маренкин С.Ф.
- Предмет
- Нанотехнологии
- Специальность/направление
- Нанотехнологии и микросистемная техника
- Вид методического издания
- учебно-методическое пособие
- Артикул
- 000143
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ
| Формат | А5 |
|---|---|
| Переплет | Мягкий |
| Аудитория | Студенты |
| Кафедра | Кафедра технологии материалов электроники |
| Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
| Библиотечн. номер | 2592 |