Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердого тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируются области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов. По всем рассматриваемым темам приводятся примеры практических расчетов и графические зависимости параметров взаимодействия ионов с полупроводниковыми и металлическими материалами. Пособие соответствует программе курса «Основы высоких технологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 654100 (550700) и специальности 210104 (200100), при выполнении домашних заданий и решении задач на практических занятиях