Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов
- Год
- 2012
- Библиотечный номер
- 2103
- Авторы
- Рабинович О.И., Крутогин Д.Г., Евсеев В.А.
- Предмет
- Электроника
- Специальность/направление
- Электроника и наноэлектроника
- Вид методического издания
- учебно-методическое пособие
- Артикул
- 000476
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ
| Формат | А5 |
|---|---|
| Переплет | Мягкий |
| Аудитория | Студенты |
| Кафедра | Кафедра технологии материалов электроники |
| Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
| Библиотечн. номер | 2103 |
| ISBN | 978-5-87623-566-4 |