Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии. Методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций
- Год
- 2015
- Библиотечный номер
- 2589
- Авторы
- Курочка С.П., Сергиенко А.А.
- Предмет
- Электроника
- Специальность/направление
- Электроника и наноэлектроника; нанотехнологии и микросистемная техника
- Вид методического издания
- учебное пособие
- Артикул
- 000145
В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как базовые традиционные методы формирования с применением нанолитографии – молекулярно-лучевая эпитаксия и газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений, так и специфические – зондовая нанотехнология и самоорганизация упорядоченных наноструктур на полупроводниковых подложках. В качестве практического применения наноструктурированных гетерокомпозиций рассмотрены конструкция и принцип работы полевого транзистора с высокой подвижностью носителей и одноэлектронный транзистор. Предназначено для магистрантов, обучающихся по направлениям 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника»
Формат | А5 |
---|---|
Переплет | Мягкий |
Аудитория | Студенты |
Кафедра | Кафедра технологии материалов электроники |
Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
Библиотечн. номер | 2589 |
ISBN | 978-5-87623-940-2 |