Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы

Год
2012
Библиотечный номер
2020
Авторы
Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Сергиенко А.А., Харламов Н.А.
Предмет
Электроника
Специальность/направление
Электроника и наноэлектроника; нанотехнология и микросистемная техника; наноматериалы; физика
Вид методического издания
учебное пособие
Артикул
000474
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и нано-индустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы»
Формат А5
Переплет КБС
Аудитория Студенты
Кафедра Кафедра технологии материалов электроники
Издательство Издательский Дом НИТУ "МИСиС"
Библиотечн. номер 2020
ISBN 978-5-87623-556-5