Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
- Год
- 2012
- Библиотечный номер
- 2020
- Авторы
- Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Сергиенко А.А., Харламов Н.А.
- Предмет
- Электроника
- Специальность/направление
- Электроника и наноэлектроника; нанотехнология и микросистемная техника; наноматериалы; физика
- Вид методического издания
- учебное пособие
- Артикул
- 000474
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и нано-индустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы»
Формат | А5 |
---|---|
Переплет | КБС |
Аудитория | Студенты |
Кафедра | Кафедра технологии материалов электроники |
Издательство | Издательский Дом НИТУ "МИСиС" |
Библиотечн. номер | 2020 |
ISBN | 978-5-87623-556-5 |